엘엠에스주식회사

Smart Choice For The Future

엘엠에스는 전기광학특성을 측정하는 측정 장비 분석 / 평가 시스템을 개발 공급하는
Light & Display Evaluation System 전문 공급 업체입니다.

온도/물성측정시스템
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온도/물성측정시스템

Hot & Cold Chucks

20mm에서 300mm의 사이즈로 선택 가능한(조정가능) Instec社 thermal chucks는 -190℃에서 700℃ 까지 이용 가능합니다.
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특징 및 사용분야

  • 원형과 사각형
  • 최고의 온도 균일성과 안정성 (better than ±0.1°C)
  • 3축의 heater로 전기에 의한 소음 감소 (선택 사항)
  • Hot chuck surface의 표면은 접지 혹은 부유(浮遊) 중 선택
  • 독립적으로 제어 가능한 진공 채널
  • 극 저 레벨 커런트측정 사양을 위해 대부분 Instec社 chuck 장비 에서는 3축 버전을 제공 : sub pico-Ampere leakage 커런트에 도달
  • 반도체의 wafer를 테스트 뿐만 아니라 LCD, 전자부품, 태양전지, OLED의 생산, 테스트, 연구에 사용

장점

  • STC200 controller 와 함께 제공
  • 0.1 °C 의 온도해상도와 안정성을 갖고 있어, 적절한 adaptor로 commercial manual 과 분석용 analytical probe station 에 적합
  • 무료로 제공되는 WinTemp software logs and displays temperature vs. time이 기본인 Windows로 어떤 온도 profile 이던지 구상하고 실행 가능.
  • 직접 프로그래밍하기를 원하는 고객을 위해, LabVIEW와 C++에서 사용 할 수 있는 무상 샘플 Source 제공
  • Mk1000 controller는 모델에 따라 0.01°C 혹은 0.001°C 의 온도 해상도와 안정성을 제공

주요사양


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